技术指标 |
数据 |
有效行程 |
X轴:300mm Y轴:300mm |
最大速度 |
X轴:1000mm/s Y轴:1000mm/s |
最大加速度 |
X轴:0.6G Y轴:0.6G |
重复定位精度 |
X轴:±0.5μm Y轴:±1μm θ轴:±2arcsec |
直线度 |
X轴:±4μm Y轴:±4μm |
行走平面度 |
X轴:±5μm Y轴:±4μm |
XY正交度 |
±5μm |
最大负载 |
10kg |
光栅尺分辨率 |
0.1μm |