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气浮XY运动平台

重复定位精度±100nm

直线度±1um

重复定位精度 ±1μm

高动态响应特性

低静态抖动

快速整定

支持非标定制

规格书下载

13655559489 （孙经理）

| 产品详情

行程	300*300mm
分辨率	20nm
绝对定位精度	±300nm
重复定位精度	±100nm
速度	1m/s
加速度	1G
位置稳定性	±20nm
行走平面度	±1um
直线度	±1um
Pitch	±2arcsec
Yaw	±2arcsec
Roll	±2arcsec
XY正交性	±1arcsec

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