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咨询电话:0551-65652905
咨询地址:合肥市高新区燕子河路388号亿智科技产业园1栋2F
联系邮箱:info@accuflex.cn
速度稳定性 1‰
重复定位精度 ±1μm
软硬件控制方案全自研
提供定制化服务
技术指标
数据
最大速度
500mm/s
最大加速度
1G
重复定位精度
≤±1μm
定位精度(补偿后)
≤±1.5μm
直线度
≤5μm
垂直度
≤8μm
光栅尺分辨率
0.1μm